Podle způsobu zásobování média jsou kryočerpadla rozdělena do následujících typů:
Kryogenní čerpadlo zásobníku: nízkoteplotní médium (kapalné helium) je přímo vstřikováno do zásobníku v čerpadle, aby se kondenzoval plyn za účelem čerpání.
Výhody kryopumpy zásobníkové nádrže spočívají v tom, že čerpadlo má malou velikost, žádné vibrace, žádný hluk a snadno se ovládá.
Nevýhodou kryogenního čerpadla skladovací nádrže je, že provozní náklady jsou vysoké, doba použití každého plnění nízkoteplotního média je krátká a vakuový systém, který musí pracovat nepřetržitě po dlouhou dobu, musí pravidelně doplňovat pracovní médium a je omezen dodacími podmínkami nízkoteplotního média.
Procesní kryopumpa: Chladicí potrubí kryopanelu v čerpadle je připojeno k chladicímu expandéru a kryogenní médium (plynové helium) je dodáváno do kryočmy přes vnější potrubí, absorbuje teplo kryopanelu a poté se vrací do chladicího kompresoru, aby vytvořil uzavřený cyklus. Objem čerpadla je obrovský, potrubí je komplikované a chladicí ztráta potrubí je velká.
Výhodou procesního kryopumpu je, že má velký chladicí výkon a je nejvhodnější pro odstranění atmosférického objemu nebo velké vakuové komory.
Kryopump malé chladničky: Kryočkopka malé chladničky s uzavřeným cyklem se skládá z nízkoteplotního tělesa čerpadla, kryopanelu pro odvod vzduchu, radiační ochranné desky, chladničky a kompresoru.
Největší rozdíl mezi kryogenním čerpadlem malé chladničky a kryogenním čerpadlem procesu spočívá v tom, že první a druhá studená hlava chladničky jsou přímo připojeny k radiačnímu sítu a studené desce a průtok v připojovacím potrubí mezi chladničkou a kompresorem je normální teplota, vysoká (nebo nízká) teplota. ) tlakové plynové médium, neexistuje žádný problém s přepravou nízkoteplotního média a má výhody procesního kryočerpadu a kryopumpy skladovací nádrže. V současné době je to ideální čistá ultra vysoká vývěva.
Malá chladničková kryočáska jsou široce používána při přípravě tenkých vrstev, mikroelektronické technologii, fyzice vysokých energií, zařízeních s malými kroužky a dalších průmyslových oborech.