Kryočerpadlo je vývěva, která používá nízkoteplotní povrch ke kondenzaci plynu, známého také jako čerpadlo kondenzátu. Kryopump může získat čisté vakuum s nejvyšší rychlostí čerpání a nejnižším konečným tlakem a je široce používán ve výzkumu a výrobě polovodičů a integrovaných obvodů, stejně jako ve výzkumu molekulárních paprsků, vakuových potahovacích zařízení, přístrojích pro analýzu vakuového povrchu, iontových implantátorů a simulaci prostoru. zařízení atd.
Princip čerpání Kryočeráska je vybavena studenou deskou chlazenou na velmi nízkou teplotu kapalným heliem nebo chladničkou. Kondenzuje plyn a udržuje tlak par kondenzátu pod konečným tlakem čerpadla, aby se dosáhlo čerpacího účinku. Hlavními funkcemi nízkoteplotního čerpání jsou nízkoteplotní kondenzace, nízkoteplotní adsorpce a nízkoteplotní zachycování.
kryopump
(1) Nízkoteplotní kondenzace: molekuly plynu kondenzují na povrchu studené desky nebo na vrstvě kondenzovaného plynu a rovnovážný tlak se v podstatě rovná tlaku par kondenzátu. Při čerpání vodíku je teplota studené desky nižší.
(2) Nízkoteplotní adsorpce: Molekuly plynu jsou adsorbovány na povrchu adsorbentu potaženého studenou deskou o tloušťce jedné molekulární vrstvy. Rovnovážný tlak pro adsorpci je mnohem nižší než tlak par při stejné teplotě.
(3) Kryogenní zachycování: Molekuly plynu, které nemohou být kondenzovány při teplotě extrakce, jsou pohřbeny a adsorbovány rostoucí vrstvou kondenzovatelného plynu.